【世界新要闻】至纯科技获49家机构调研：公司可满足28nm全部湿法工艺需求，且全工艺机台均有订单（附调研问答）

至纯科技（603690）6月5日发布投资者关系活动记录表，公司于2023年5月31日接受49家机构调研，机构类型为QFII、保险公司、其他、基金公司、海外机构、证券公司、阳光私募机构。 投资者关系活动主要内容介绍： 一、公司近期情况简介2022年度，公司新增订单总额为42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00亿元，同比增长60.71%。 2022年实现营业收入30.5亿，同比增长46.32%；扣非后净利润2.85亿元，同比增长76%，主要系集成电路业务增长。 23Q1实现营收7.84亿元，同比增长43%；归母净利润0.63亿元，同比增长186%；扣非归母净利润0.58亿元，同比增长49%。 2023年公司预计年度新增订单52-57亿元，其中制程设备订单区间为20-25亿元。 2023年一季度，公司新增订单21亿元，其中制程设备新增订单2.12亿元。 二、交流的主要问题及回复概要

问：公司湿法清洗设备目前进展如何？

(资料图片)

答：受2022年下半年以来美国制裁影响，晶圆厂投产节奏放缓，公司半导体清洗设备受到一定影响，2023年一季度设备新接订单相比去年有一定下降，但从一季度的行业情况来看，部分客户已重新启动，在进行设备的技术交流与商务洽谈中，订单落地情况请关注今年二三季度。

问：公司湿法设备在先进制程的技术积累及订单情况如何？

答：公司可满足28nm全部湿法工艺需求，且全工艺机台均有订单。公司湿法设备聚焦芯片制造的前道工艺，高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等设备。其中单片SPM工艺应用贯穿整个先进半导体的前、中段工艺，是所有湿法工艺中应用最多的一种设备，SPM工艺被公认是28/14nm性能要求最高的工艺，也是最具挑战的湿法工艺设备。在至纯科技的单片SPM获得突破之前，所有的单片SPM设备全部由国外厂商所垄断。公司在核心工序段的高阶设备累计订单量近20台。公司依靠专业度高、技术能力强的核心人才队伍，率先突破14nm及以下制程的湿法设备的研发，进一步提高行业壁垒，奠定国内专业湿法设备供应商的领先地位。14nm及以下也有4台订单交付。

问：日本发布的半导体设备出口限制措施对贵公司是否有重大影响？是否会对从日本进口的重要零部件产生阻碍？

答：日本对半导体设备的限制措施中，其中对湿法清洗设备的限制对公司无影响，甚至有可能会加速国内下游厂商采购国产化设备的步伐，对除湿法清洗设备外的其他设备的限制可能会对公司业务产生间接影响，目前尚不确定。公司设备类部分零部件从日韩进口，公司已在国内寻找并培养可替代的国产零部件供应商，今年国产二供的比例争取进一步提升。

问：从公司2023年一季度的新增订单情况来看，系统集成为何增速如此之快，制程设备年度新增订单目标是否会有变化？

答：系统集成业务与下游资本开支强相关，不论是成熟制程还是先进制程，前期需先从系统集成业务开始，系统集成业务增速较快也能一定程度上反映出下游的发展动态。制程设备相对较滞后于系统集成业务，目前仍在技术交流与商务洽谈中，订单落地情况需关注二三季度。考虑到三季度日本紧随美国之后开始正式实施限制政策对下游客户可能带来的影响，公司2023年度制程设备新增订单目标设立较为保守。

问：请问公司炉管和涂胶显影未来的发展方向？

答：公司进行设备新品种的延展主要是从偏商业的角度去考量，目前公司炉管和涂胶显影设备主要聚焦6＂/8＂线的设备交付，设备销售完全市场化竞争，以设备性价比、质量取胜，采用多品类多客户的商业策略。12＂炉管设备已交付客户验证。 公司进行设备新品类的延展主要是从偏商业的角度去考量，国产替代率低、国内还有较大市场需求、公司基于现有业务能力圈同时有能力储备，并能进一步整合到资源有能力去做的细分领域，我们会去尝试开拓并希望能尽快形成有效订单。我们的研发都是作为投资项目来管理，形成任何研发立项都是从市场作为重要输入并以产品开发成功后一个阶段的市场经营成果作为最后的输出来评价。

问：公司已经建有一座大宗气站，后续气体业务这块有何规划？今年还会再建新的大宗气站吗？

答：公司目前已经建成国内第一座服务于12寸晶圆厂在28纳米节点的本土的电子大宗气站，已经稳定运行并供气一年多了，在国内大宗气市场已有较好的先发优势及良好的竞争力。公司会借势继续该项业务。 电子级大宗气站业务是技术密集、资金密集并需要高度专业化的运营体系和团队，同时还需评估客户的实力及产线运营稳定性等重要因素，供应商与客户间也会进行双向选择。

问：请问光伏设备业务今年进展如何？

答：公司去年下半年接到10GW的Topcon订单正在陆续交付中，今年会应市场及客户需求及自身产能情况，加大光伏订单量。

问：公司设立各个业务板块的考量？

答：公司一直关注核心工艺，服务关键制程，将产品布局到集成电路用户全生命周期。 公司通过在系统集成领域多年的耕耘，外部积累了长期用户，内部积累了专业务实以客户为中心决策和执行的团队。我们的高纯工艺业务，实则是用户核心工艺的一部分，我们设计制造和建设的高纯气体设备及系统，服务于用户扩散、刻蚀、成膜、注入等干法工艺，我们设计制造和建设的高纯化学品设备及系统，服务于用户湿法各种工艺。我们在高纯工艺已经是国内领头专业厂商，持续服务于中芯国际、华虹华力、长鑫存储、长江存储、燕东、士兰微（600460）等集成电路用户。在此优势基础上，公司选择了往更加难度大空白点多的工艺机台延伸。 工艺机台领域，公司从资源和市场考虑，决策了投入资源开发湿法四个平台全工艺覆盖，对标日系该领域最大厂为追赶目标，努力成为国内湿法新增需求市占率第一，并能参与全球竞争，目前湿法机台已经基本完成大部分工艺的验证进入上量阶段，并且公司在过去两年投入专项工作小组帮助本土上游供应链培养工作，在知识产权自主的基础上，进一步准备好供应链自主，为服务于本土用户的发展步伐打好了基础；在湿法高密度研发投入开始放缓时，我们从用户需求触发，投入资源组建了独立团队进行了炉管和涂胶显影设备的开发。 晶圆再生和部件再生，是我们在湿法设备、湿法工艺团队、高纯工艺系统都具备技术优势和成本优势的前提下，结合国内先进制程的再生服务能力不足，持续出口处理再送回国内的市场空间，投入产线建设。同时，合肥的晶圆再生和部件再生基地作为服务基地，既是独立的利润中心，又承载了帮助用户进行工艺开发的平台，以及当前外围局势下很好地服务于本土供应链模块及部件的验证平台。 而大宗气站也是服务于用户生产运营阶段。 所以，公司在上市六年来，从单一服务于用户在资本开支阶段的主营业务，到现在能服务于用户“建设及爬坡期+量产期+技术升级”的全生命周期，公司实现了在2017年提出的“新征程下关注市场发展、客户需求变化，从商业机会的把握角度，从客户资本开支到稳定运营阶段提供一系列产品及服务”的布局，为公司持续健康的增长奠定了好的基础。 我们希望能在用户不同的发展阶段都能提供优质的产品和服务。在电子以外，公司布局了生物和光电子，也是对于电子有一定周期性，做了更长远的平滑周期的准备。公司在过往的几年积极地在研发、产品线和产能上都打下了很好的基础，现在仍在为彻底解决供应链的稳定问题而努力; 上海至纯洁净系统科技股份有限公司的主营业务为半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。公司的主要产品为高纯工艺集成系统、半导体设备、光传感及光器件。公司于2019年3月完成对波汇科技的收购，波汇科技主要业务为光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。公司多项技术已达到国际先进水平。

调研参与机构详情如下：